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간 | 주 요 연 혁 | |
연도 | 해당월 | |
1995 | 2 | 아텍시스템 설립 |
11 | Ion beam source 개발 | |
1996 | 9 | Arc source 개발 |
1997 | 10 | Filtered Arc source 장비 및 공정기술 개발 |
1998 | 2 | PECVD(Plasma-Enhanced CVD)용 고온(1200 ℃) 고속회전(750 RPM) Substrate 개발 |
5 | 양산용 Sputter system 개발 | |
7 | SAW Filter 전용 양산형 Sputter system 개발 | |
1999 | 7 | LPCVD(Low-Pressure CVD) 개발 |
2000 | 11 | 사업장 이전(부천 테크노파크) |
2001 | 2 | 기업부설 연구소 설립 |
9 | Silica 합성용 PECVD system 개발 | |
2002 | 1 | UHV(Ultra High Vacuum) Sputter system 개발 |
1 | PDP 양산기술 개발사업 참여(주관기관 : 한국기계연구원) | |
4 | TCP(Transformer Coupled Plasma) etcher 장비 개발 | |
8 | 다층 자성 박막 제조용 UHV Sputter 장비 생산 | |
9 | 질화막 코팅용 Vacuum Arc 장비 생산 | |
2003 | 2 | PDP 전극 보호코팅용 In-line Vacuum Arc 증착장비 제작 |
11 | 대용량 평면광원 고진공 테스트 장비 생산 | |
2004 | 1 | 다기능 연구용 표준스퍼터 시스템 개발 |
7 | 미국 Atomate 社 파트너쉽 체결(나노튜브-나노와이어 분야) | |
2005 | 7 | 독일 Fraunhofer Gesellschaft(FhG) 연구소 및 FHR 社 파트너쉽 체결(PVD 분야) |
10 | MOCVD(Metal-Organic CVD) 장비개발 완료(공동개발 : 미국 Atomate 社) | |
11 | NPPN(New Post Plasma Nitriding) 질화처리 시스템 개발사업 참여(주관기관 : 한국생산기술연구원) | |
12 | 본사 및 1공장 준공/사업장 이전(인천시 부평구 청천동 소재) | |
12 | Laser Printer용 Polygon mirror 증착장비 생산 | |
2006 | 3 | 정밀광학용 Ion-beam Sputter 장비 개발 |
10 | 양산용 Arc Ion Plating 장비 및 Plasma Nitriding 장비 생산 | |
11 | 다색 컬러 코팅용 Ion Plating 장비 개발 | |
2007 | 4 | CNT 투명전극용 Arc CNT 합성장비 개발 |
9 | Flexible display 연구용 Web Coater system 개발 | |
12 | 광학렌즈 코팅용 Sputter 장비 개발 완료 및 생산 | |
2008 | 1 | 태양전지용 다결정 Silicon Ingot 합성 양산형 장비 개발 |
6 | 태양전지 무반사 코팅 PECVD 개발 | |
2009 | 8 | 이차원 소재(Graphene) 합성용 PECVD system 개발 |
10 | 베트남 Hochiminh 대학 CVD 납품 및 장비운용 교육 | |
2010 | 3 | 양산형 AlN(질화 알루미늄) Plasma Nitriding 장비 개발 |
2011 | 4 | 2공장 신축(인천시 부평구 청천동 소재) |
2012 | 4 | 대만 WESI 社 파트너쉽 체결 |
12 | 10 nm 급 Focused Ion Beam(FIB) 나노공정 장비개발(중기청 융복합지원사업 완료) | |
2013 | 12 | 양산형 저압질화(Low Pressure Nitriding) 장비 개발 |
2014 | 3 | Ball Mill system 개발 및 제작 |
8 | 4-inch scale Vertical Growth CNT 공정 최적화 개발 | |
8 | 이종소재 상온접합용 나노다층박막 접합체 제조기술 개발사업 완료(공동기관 : 한국생산기술연구원) | |
8 | FIB를 이용한 나노 hole 기반 세포칩 기술 개발 완료(중기청 융복합기술개발사업 완료) | |
2016 | 12 | 나노융합산업조합 T+2B 시제품 개발 및 성증평가 사업 완료(대면적 CNT forest 합성 및 CNT Yarn 제작) |
2017 | 8 | 산업자원부 산업핵심기술개발사업 참여-1톤급 플라즈마 질화장비 개발(주관기관 : 한국생산기술연구원) |
2018 | 2 | 수직배향 CNT forest 및 CNT yarn 판매 및 공동연구(성균관대학교, 한양대학교, 한국탄소융합기술원 등) |
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기 간 | 수상/인증/특허 및 논문내역 | |
연도 | 해당월 | |
2003 | 7 | 한국 반도체장비학회 우수논문상 수상(High density PECVD) |
2004 | 9 | ISO 14001 획득 |
2006 | 12 | 한국산업안전공단 Clean 사업장 인정 |
2008 | 9 | ISO 9001 획득 |
2008 | 11 | 한국생산기술연구원 파트너 기업 지정 |
2010 | 1 | UNITEF 우수연구상 수상(공동연구 : 인하대학교 정지원교수 연구팀) |
4 | 한국전자부품연구원 나노기술집적센터 회원사 선정 | |
7 | 특허 - 아크방전법을 이용한 탄소나노튜브 합성장치 | |
7 | 특허 - Reactive Sputtering 공정을 이용한 기판의 양면 다층박막 적층장치 | |
8 | 인천광역시 유망중소기업 선정 | |
10 | INNO-BIZ(기술혁신중소기업) 인증연장 재교부 | |
2011 | 5 | CE 인증 (OLED purification Furnace) |
11 | 인천광역시 비전기업 인증 | |
2012 | 3 | CE 인증 (Graphene PECVD-PVD cluster system) |
2013 | 8 | CE 인증 (CNT forest 합성용 CVD 및 CNT Yarning system) |
10 | 중소기업청 주관 기술혁신형 중소기업(INNO-BIZ) 확인 | |
2014 | 6 | CE 인증 (High temperature vacuum furnace) |
8 | CE 인증 (Vertical Growth CVD system) | |
2017 | 5 | CNT 관련논문 출간(공동연구 : 성균관대학교 서동석교수 연구팀, Advanced Functional Materials, 27(30), 17011108) |
2018 | 2 | CNT 관련논문 출간(공동연구 : 성균관대학교 서동석교수 연구팀, Advanced Functional Materials, 28(8), 1706007) |