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회사연혁
COMPANY HISTORY
       
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주 요 연 혁

연도

해당월

1995

2

아텍시스템 설립

11

Ion beam source 개발

1996

9

Arc source 개발

1997

10

Filtered Arc source 장비 및 공정기술 개발

1998

2

PECVD(Plasma-Enhanced CVD)용 고온(1200 ℃) 고속회전(750 RPM) Substrate 개발

5

양산용 Sputter system 개발

7

SAW Filter 전용 양산형 Sputter system 개발

1999

7

LPCVD(Low-Pressure CVD) 개발

2000

11

사업장 이전(부천 테크노파크)

2001

2

기업부설 연구소 설립

9

Silica 합성용 PECVD system 개발

2002

1

UHV(Ultra High Vacuum) Sputter system 개발

1

PDP 양산기술 개발사업 참여(주관기관 : 한국기계연구원)

4

TCP(Transformer Coupled Plasma) etcher 장비 개발

8

다층 자성 박막 제조용 UHV Sputter 장비 생산

9

질화막 코팅용 Vacuum Arc 장비 생산

2003

2

PDP 전극 보호코팅용 In-line Vacuum Arc 증착장비 제작

11

대용량 평면광원 고진공 테스트 장비 생산

2004

1

다기능 연구용 표준스퍼터 시스템 개발

7

미국 Atomate 社 파트너쉽 체결(나노튜브-나노와이어 분야)

2005

7

독일 Fraunhofer Gesellschaft(FhG) 연구소 및 FHR 社 파트너쉽 체결(PVD    분야)

10

MOCVD(Metal-Organic CVD) 장비개발 완료(공동개발 : 미국 Atomate 社)

11

NPPN(New Post Plasma Nitriding) 질화처리 시스템 개발사업 참여(주관기관 : 한국생산기술연구원)

12

본사 및 1공장 준공/사업장 이전(인천시 부평구 청천동 소재)

12

Laser Printer용 Polygon mirror 증착장비 생산

2006

3

정밀광학용 Ion-beam Sputter 장비 개발

10

양산용 Arc Ion Plating 장비 및 Plasma Nitriding 장비 생산

11

다색 컬러 코팅용 Ion Plating 장비 개발

2007

4

CNT 투명전극용 Arc CNT 합성장비 개발

9

Flexible display 연구용 Web Coater system 개발

12

광학렌즈 코팅용 Sputter 장비 개발 완료 및 생산

2008

1

태양전지용 다결정 Silicon Ingot 합성 양산형 장비 개발

6

태양전지 무반사 코팅 PECVD 개발

2009

8

이차원 소재(Graphene) 합성용 PECVD system 개발

10

베트남 Hochiminh 대학 CVD 납품 및 장비운용 교육  

2010 

양산형 AlN(질화 알루미늄) Plasma Nitriding 장비 개발 

2011 

2공장 신축(인천시 부평구 청천동 소재) 

2012 

대만 WESI 社 파트너쉽 체결 

12 

10 nm 급 Focused Ion Beam(FIB) 나노공정 장비개발(중기청 융복합지원사업 완료) 

2013 

12 

양산형 저압질화(Low Pressure Nitriding) 장비 개발 

2014 

Ball Mill system 개발 및 제작 

4-inch scale Vertical Growth CNT 공정 최적화 개발 

이종소재 상온접합용 나노다층박막 접합체 제조기술 개발사업 완료(공동기관 : 한국생산기술연구원)  

FIB를 이용한 나노 hole 기반 세포칩 기술 개발 완료(중기청 융복합기술개발사업 완료)  

2016 

12 

나노융합산업조합 T+2B 시제품 개발 및 성증평가 사업 완료(대면적 CNT forest 합성 및 CNT Yarn 제작)  

2017 

산업자원부 산업핵심기술개발사업 참여-1톤급 플라즈마 질화장비 개발(주관기관 : 한국생산기술연구원)  

2018 

수직배향 CNT forest 및 CNT yarn 판매 및 공동연구(성균관대학교, 한양대학교, 한국탄소융합기술원 등)  

       
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기 간

수상/인증/특허 및 논문내역

연도

해당월

2003

7

한국 반도체장비학회 우수논문상 수상(High density PECVD)

2004

9

ISO 14001 획득

2006

12

한국산업안전공단 Clean 사업장 인정

2008

9

ISO 9001 획득

2008

11

한국생산기술연구원 파트너 기업 지정

2010

1

UNITEF 우수연구상 수상(공동연구 : 인하대학교 정지원교수 연구팀)

4

한국전자부품연구원 나노기술집적센터 회원사 선정

7

특허 - 아크방전법을 이용한 탄소나노튜브 합성장치

7

특허 - Reactive Sputtering 공정을 이용한 기판의 양면 다층박막 적층장치

8

인천광역시 유망중소기업 선정

10

INNO-BIZ(기술혁신중소기업) 인증연장 재교부

2011

5

CE 인증 (OLED purification Furnace)

11

인천광역시 비전기업 인증

2012

3

CE 인증 (Graphene PECVD-PVD cluster system)

2013

8

CE 인증 (CNT forest 합성용 CVD 및 CNT Yarning system)

10

중소기업청 주관 기술혁신형 중소기업(INNO-BIZ) 확인

2014

6

CE 인증 (High temperature vacuum furnace)

8

CE 인증 (Vertical Growth CVD system)

2017

5

CNT 관련논문 출간(공동연구 : 성균관대학교 서동석교수 연구팀, Advanced Functional Materials, 27(30), 17011108)

2018

2

CNT 관련논문 출간(공동연구 : 성균관대학교 서동석교수 연구팀, Advanced Functional Materials, 28(8), 1706007)