[12/06/01] 아텍시스템, 컴팩트 스퍼터 장비(Compact Sputter-75S) 개발완료

아텍시스템은 최근 컴팩트 스퍼터 장비를 개발완료하였다. 

​본 장비의 경우 가격이 저렴하다는 장점 이외에도 조작이 간편하고, 장비가 차지하는 공간을 작게 할 수 있으며, 장비유지 관리 비용 아주 저렴한 장점이 있다. 

​본 장비는 RF/DC 겸용이 가능하게 설계되어있고, 금속막, 합금막, 카본막 이외에도 금속산화물 및 금속질화물 같은 세라믹막을 증착시킬 수 있는 장점이 있다.