[04/01/05]아텍시스템, 연구전용 표준스퍼터 장비 개발 완료
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작성자 AT시스템
작성일10-01-08 17:46
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아텍시스템은 국내외 대학 및 연구소에서 다양한 분야의 연구가 가능한
표준형 4x3" gun을 갖는 마그네트론 스퍼터 장비개발을 완료하였다.
본 장비는 loadlock 시스템 부분이 켐펙트하게 설계되어 공간사용을 최소화시킨 것 이외에도,
부품개발 등을 통해 가격경쟁력을 높인 것이 이 장비의 특징이다.
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