[03/07/03]아텍시스템, 우수 논문상 수상
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작성자 AT시스템
작성일10-01-08 17:39
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아텍시스템은 지난 5월 30일 한국 반도체 장비학회에서 발표한 논문
(제목: 비정질 실리콘 박막 증착용 고밀도 플라즈마 화학 증착장비 )이
우수 논문으로 선정되어 한국 반도체 장비학회로부터 우수 논문상을 수상했다
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