[08/06/30] 아텍시스템, 태양전지 무반사 코팅 PECVD 장비 개발완료
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작성자 AT시스템
작성일10-01-10 06:16
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DATE : 2019-11-28 12:05:54
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아텍시스템은 최근 크게 수요가 늘고 있는 연구용 태양전지용 PECVD 장비를 개발을 완료하였다.
본 장비는 양산 전 공정 평가용 및 신규 공정 개발을 목적으로 개발된 것으로,
높은 증착균일도를 갖을 뿐만 아니라, 공정 사이클이 아주 짧은 특징을 가지고 있다.
또한 본 장비는 RF, MF, VHF 파워가 모두 호환성있게 장착될 수있도록 설계되었다.
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